Трехкоординатные модули позиционирования СПМ-2 с шаговым приводом и контроллером предназначены для работы совместно с лазерными микроскопами и служат для прецизионного перемещения объекта, находящегося в фокальной плоскости объектива, относительно точки фокусировки лазерного пучка.
Конструкция модуля обеспечивает высокую скорость и точность перемещения при сохранении максимальной жесткости и устойчивости к вибрациям. Модуль имеет стандартные крепежные отверстия для его фиксации винтами М6 на оптической плите, на которой расположен микроскоп.
Для удобства работы в составе испытательных установок для лазерного моделирования радиационных эффектов от тяжелых заряженных частиц модули оснащены адаптером специальной конструкции, облегчающим установку и закрепление испытуемых печатных плат с возможностью их юстировки (поворота и наклона) относительно оптической оси микроскопа.
Программное управление модулем осуществляется через многоканальный контроллер шаговых двигателей, подсоединенный к ПК, обеспечивая возможность перемещения объекта в плоскости XY, подстройку фокусировки (в направлении Z), а также сканирование желаемой области исследуемого объекта. Программное обеспечение позволяет осуществлять сканирование синхронно и асинхронно с лазерными импульсами.
| Технические характеристики модулей позиционирования СПМ-2 | |
| Параметр | Величина |
| Минимальный шаг перемещения, мкм: |
|
| Диапазон перемещения, мкм: |
|
| Воспроизводимость установки положения, мкм, не более | 2 |
| Максимальная скорость перемещения, мм/с | 2 |
| Габаритные размеры (Д×Ш×В), мм: | 350×350×200 |
