В обязательном порядке все образцы (для которых это возможно), поступающие на исследование, проходят рентгенографический контроль внутренней структуры. Целями данного контроля являются: · выявление и локализация дефектов печатных плат полупроводниковых приборов, электронных узлов и модулей; · определение геометрических размеров и ориентацию полупроводниковых кристаллов в пластиковых или металлокерамических корпусах полупроводниковых приборах и интегральных схемах; · контроль однородности партии однотипных изделий. |
В НТК-5 для рентгеноскопии используются две установки, предназначенные для проведения рентгеновской неразрушающей диагностики печатных плат, полупроводниковых приборов, электронных узлов и модулей на наличие дефектов, которые невозможно выявить другими методами контроля (оптическими и электрическими): 1) Система на базе рентгеновского источника "Пардус", устройства перекрытия рентгеновского потока УПРП-0901 и радиовизиографа Krystal-X Easy фирмы OWANDY (Франция), см. рис. 12. Основные параметры системы приведены в таблице. Наименование характеристики | Значение | Острофокусный рентгеновский аппарат: тип рентгеновской трубки диапазон напряжений на рентгеновской трубке, кВ максимальная мощность на аноде рентгеновской трубки, Вт диапазон тока рентгеновской трубки, мкА размер фокусного пятна, мм | БС-6 30…1003 20…100 0,2 | Устройство перекрытия рентгеновского потока УПРП-0901: диапазон интервалов времени открытия задвижки, с шаг изменения времени экспозиции на таймере, с | 0,5÷9 0,5; 1,0; 2,0; 3,0; 4,0; 5,0; 6,0; 7,0; 8,0; | Интраоральный датчик Krystal-X Easy: разрешающая способность, мкм матрица CCD с фильтром (сцинтиллятор), пикс внешние размеры датчиков (ширина, длина), мм размеры чувствительно области детектора, мм | 20 1000х150 25х37 20х30 |
| 
Снимки компаратора напряжения Внешний вид системы рентгеновского контроля |
2) Стенд рентгеновской неразрушающей диагностики собственного производства, на основе специально разработанного микрофокусного рентгеновского аппарата, системы позиционирования объекта и детекторов рентгеновского изображения – динамического детектора с люминесцентным экраном и статического - интраорального датчика OPTEO фирмы OWANDY. Специализированное программное обеспечение данного стенда позволяет проводить исследование как методом визуального контроля оператором, так и методом сравнения рентгеновского изображения исследуемого объекта с эталонным изображением. Основные технические характеристики стенда рентгеновской неразрушающей диагностики представлены в таблице. Наименование характеристики | Значение | Микрофокусный рентгеновский аппарат: тип рентгеновской трубки диапазон напряжений на рентгеновской трубке, кВ диапазон тока рентгеновской трубки, мкА размер фокусного пятна | БС-16 40…135 50…200 не более 10 мкм | Миниатюрные видеокамеры TBC-A4371: матрица процессор DSP система разрешение, эффективных пикс. объектив минимальная освещенность отношение сигнал/шум регулировка усиления электронный затвор цифровое шумоподавление | 1/3" Sony Super-HAD CCD II Sony Effio-E PAL 700ТВЛ, 976x596 фикс. 3,7 мм 0,001 лк ≥ 52 дБ автоматическая 1/50…1/100,000 с, Авто, фикс. 2D-DNR | Интраоральный датчик OPTEO: технология детектора теоретическое разрешение практическое разрешение размер чувствительной поверхности размер чувствительной поверхности в пикселях размер одного пикселя уровни серого | КМОП матрица ультравысокого разрешения 26,3 пар линий/мм > 20 пар линий/мм 34 x 26 мм (900 мм2) 1700 x 1300 19 х 19 мкм 14 бит (16384 уровней серого) | Система позиционирования объекта: диапазон перемещения по координате X диапазон перемещения по координате Y диапазон перемещения по координате Z точность перемещения, не хуже стабильность позиционирования, не хуже | 150 мм 200 мм 100 мм 0,1 мм 0,1 мм | Бокс для задания температуры объекта Диапазон изменений температуры Точность поддержания температуры, °С Время выхода на макс. температуру, не более Потребляемая мощность, не более | +40…+125 °С +7°С 12 мин 50 Вт |
| Внешний вид стенда рентгеновской неразрушающей диагностики Окно программы управления системой рентгеновской неразрушающей диагностики |