Создание СВЧ-библиотеки базовых элементов

Коллектив разработчиков Дизайн-центра приемопередающей ЭКБ и РЭА Консорциума НИЯУ МИФИ - АО «ЭНПО СПЭЛС» разработал специализированную СВЧ-библиотеку базовых элементов, предназначенной для использования в рамках отечественного КМОП технологического процесса с проектной нормой 180 нм.

Библиотека включает в своем составе:
• набор радиочастотных МОП-транзисторов для усилительного и ключевого применения;
• варикапы на основе МОП-структур трех типов;
• спиральные катушки индуктивности;
• МДМ-конденсаторы;
• прочие элементы. 

Библиотека предназначена для использования совместно с САПР Cadence Virtuoso IC и ориентирована на создание комплекта усилительных, генераторных и преобразовательных СВЧ сложно-функциональных блоков, а также блоков управления фазой и амплитудой сигнала приемопередающей ЭКБ. 
На основе представленной библиотеки спроектирован тестовый кристалл, предназначенный для проведения исследований зондовыми методами. Кристалл содержит 13 типов базовых элементов и вспомогательные структуры для СВЧ-характеризации отечественного КМОП технологического процесса с проектной нормой 180 нм. В настоящее время кристалл находится в режиме производства на фабрике АО «Микрон», выход из производства ожидается в конце 2023 года.