- установки визуального контроля качества поверхности,
- установки измерения критических размеров и контроля совмещения слоев оптическими методами.
РЕАЛИЗОВАННЫЕ ПРОЕКТЫ:
Установка визуального контроля для анализа лицевой поверхности пластины в оптическом микроскопе
Скачать буклет!
Особенности:
Анализ и контроль лицевой поверхности пластины в оптическом микроскопе с увеличением 5/10/50/100/150x, работающем в том числе в УФ области спектра.
Возможности ПО:
-
Распознавание ключевого изображения для автоматизированного выравнивания пластины по уникальным меткам.
-
Автоматическое выравнивание пластины в рабочем поле микроскопа.
-
Чтение файла формата KLARF и навигация по координатам этого файла на пластине.
-
Автоматическая и ручная фокусировка на поверхности пластины
-
Сохранение изображения в поле зрения.
-
Сшивка нескольких изображений смежных полей зрения в единое изображение.
-
Сохранение результатов контроля в табличном виде и фотофиксацию изображений дефектов.
-
Автоматизированное повторение действий оператора в настраиваемых контрольных участках пластины (запись и исполнение сценария обхода).
-
Измерение размеров дефекта с помощью курсоров.
-
Измерение линейных размеров элементов с помощью ПЗС матрицы.
Automation Tools – собственная программная платформа для автоматизации физического эксперимента. Включает в себя библиотеку из более чем 100 приборов (как реальных (осциллографы, мультиметры, источники питания, видеокамеры, контроллеры шаговых двигателей), так и виртуальных – обработка изображений, логирование данных и т.д.). Достоинством платформы являются модульность и возможность расширять перечень приборов под Заказчика. Помимо всего прочего, Automation Tools содержит встроенный модуль для написания алгоритмов автоматизации на языке C#, в том числе самостоятельно Заказчиком.
Интерфейс программы Automation Tools
Структурная схема установки для автоматической оптической инспекции
Алгоритм автоматического поиска дефектов:
ШАГ 1. Выравнивание пластины
Используется метод поиска линий и углов их наклона на одном кадре (обладает точностью до 0,2°), дополненный поиском периодически повторяющихся элементов топологии (точность до 0,01°)
ШАГ 2. Съемка видео и сшивание кадров в панораму
Производится предварительная видеосъемка пластины по рядам с дальнейшим сшиванием в панораму и поиском отдельных кристаллов.
ШАГ 3. Поиск дефектов на кристаллах микросхем
Используется попиксельное вычитание эталонного изображения из каждого кристалла c вычислением индекса структурного сходства (SSIM).
Фото кристалла с пластины, эталона и изображения найденных различий